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日本SMC带节流阀的真空破坏阀 ・适合0603芯片。 ・内置2个阀柱。 ・使用1个阀即可控制真空吸附和破坏。 ・宽10mm(与SJ3000系列尺寸相同)。 ・带能够调节破坏空气流量的节流阀。 ・真空側、破坏側内置可更换的过滤器。 ・可与4通电磁阀SJ2000/3000混合安装(订制规格)。
日本SMC真空、破坏单元阀 ・适合0603芯片。 ・响应速度:13msec(500mm时※)/18.5msec(1000mm时※)。 ・可实现无超调的平滑工件脱离。 ・无需调节真空、正压的切换时点。 ・不需要破坏空气的节流回路。 ・真空过滤器:ZFC050(订制规格)。