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能研8713 - 气体质量流量控制器的选购指南

更新时间:2024-05-24      点击次数:114

8713 型质量流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热 MEMS 传感器可以实现速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件,确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具备的控制特性。8713 型设备可以针对两种不同的气体进行校准,用户可以在两者之间进行切换。与上级设备的通信采用数字形式,这样一来,就可以省去额外的数模转换。8713 型质量流量控制器适合多样化应用,例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。

  • 标称流量范围:0.010 lN/min 至 80 lN/min

  • 测量精度和重复性高

  • 调控速度特别快

  • 通过 RS485 进行数字通信

  • 紧凑型版本


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