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能研8745 - 气体流量控制器的使用说明

更新时间:2024-05-22      点击次数:149

以下是一份气体质量流量控制器的一般使用说明:


一、安装


1. 选择合适的安装位置,确保环境温度、湿度等符合设备要求。


2. 按照设备手册正确连接气体入口和出口管路,注意密封良好。


二、预热

在使用或长时间未使用后,需进行适当时间的预热,以确保测量准确性。


三、设置与操作


1. 通过控制面板或配套软件设置所需的流量值。


2. 可根据需要选择不同的单位(如 SCCM、SLPM 等)。


3. 确认设定的气体类型与实际使用的气体相符。


四、运行与监测


1. 开启气体供应,观察流量显示是否稳定在设定值附近。


2. 定期检查显示数值与实际需求是否一致。


五、维护与保养


1. 定期清洁设备表面,防止灰尘等杂质影响性能。


2. 按照规定的时间间隔进行校准,以保证测量精度。


3. 如发现故障或异常,应及时停止使用并联系专业人员维修。


六、注意事项


1. 严格按照设备规定的压力、温度范围操作。


2. 避免强烈震动和冲击。


3. 对不同气体可能需要特定的使用要求,务必遵循相关规定。



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