能研8710 - 气体质量流量控制器的简介

8710 型质量流量控制器 (MFC) 尤其适用于腐蚀性气体的质量流量控制，这类气体需要一个介质隔离的传感器。毛细管热传感器可以实现快速响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件，确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具备的控制特性。8710 型设备可以针对两种不同的气体进行校准，用户可以在两者之间进行切换。作为电气接口，既提供模拟标准信号，也提供现场总线。