理研计器 Riken Keiki FPM-80A有毒气体在线监测系统的简介

理研计器 Riken Keiki FPM-80A有毒气体在线监测系统的简介

FPM-80A 多点纸带式有毒气体在线监测系统（半导体晶圆厂旗舰机型）**

核心原理

化学纸带法（纸带比色）**：特制化学纸带与目标有毒气体发生显色反应，光学读取色斑深浅换算浓度；纸带可留存，泄漏时保留物理证据，ppb 级超低浓度检测，抗干扰强、误报低。

关键规格

- 最大监测点数：80 点 / 台

- 采样方式：内置泵吸式，每机架最多 8 个采样点

- 单路采样流量：2.5 L/min

- 最远采样距离：120 米**，响应＜1 分钟

- 纸带寿命：常规气体最长**180 天**；NO₂最长 60 天；带 RFID 识别纸带剩余寿命，更换仅需 1 分钟，热插拔式盒带，不易卡带RKI Instru...

- 人机界面：19 英寸触控屏，显示浓度、气体名称、纸带余量、流量

- 通信：支持多种工业协议，可接入工厂上位系统

- 电源：AC100–240V，功耗 2.3kW

- 重量：约 400kg

- 环境条件：工作温度 5～35℃，湿度 30～60% RH

- 管路：推荐 PTFE 管 φ6.35mm (1/4") 外径

 可检测气体

配套超过 300 种化学纸带，半导体常用：**HCl、HF、Cl₂、NH₃、NO₂、H₂S、光气、磷化氢、砷化氢**等各类剧毒 / 腐蚀性工艺气体

理研计器 Riken Keiki FPM-80A有毒气体在线监测系统的简介

主要特点

1. ppb 级灵敏度**，专门针对半导体 fab 剧毒工艺气体泄漏预警

2. 泵、电源、工控机支持**热插拔维护**，停机时间短，适合连续生产工厂

3. 纸带显色可作为泄漏物证，区别于普通电化学传感器

4. 支持气体追踪定位功能，远程查看各测点状态RKI Instru...

 典型应用场景

半导体晶圆制造、面板厂，VMB 柜、机台、排风管道有毒气体多点泄漏在线监测，是国内晶圆厂常用的理研旗舰多点有毒气体监测系统