理研计器 RIKEN KEIKI GD‑81D 系列泵吸式固定式气体检测仪的参数
半导体工厂专用,泵吸式固定式气体检测仪(非防爆)理研計器株...**
版本区分
- GD‑81D:4‑20mA 模拟输出,2‑3 线制,支持单传感器,兼容 GD‑70D 老款 U 传感器理研計器株...
- GD‑81D‑ETD:Ethernet 以太网(支持 PoE 供电),支持 M 传感器,**一台最多同时检测 2 种气体**,Web 网页远程访问查看数据、事件日志RKI Instru...
核心规格
| 项目 | 参数 |
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| 采样方式 | 内置气泵吸入式,流量约 **0.5 L/min**理研計器株... |
| 供电 | DC24V ±10%;ETD 额外支持 PoE 供电,禁止双电源同时接入理研計器株... |
| 显示 | 全点阵 LCD 背光,显示气体名称、浓度、流量、报警状态理研計器株... |
| 报警输出 | ALM1(一级报警红)、ALM2(二级报警红);FAULT 故障黄灯;继电器触点输出理研計器株... |
| 报警模式 | 可燃 / 有毒:H‑HH 高‑高高两段;氧气:L‑LL 低‑低低两段;可锁存 / 自动复位RIKEN KEIK... |
| 管路接口 | PTFE 特氟龙管,外径 φ6× 内径 φ4,快插接头 GAS‑IN 进气 / GAS‑OUT 出气RKI Instru... |
| 尺寸重量 | 70 (W)×120 (H)×145 (D) mm,约 0.8 kgRIKEN KEIK... |
| 环境条件 | ‑10~+40℃,湿度 5‑90% RH 无凝露;**本体无防爆认证**,不可用于防爆危险区RIKEN KEIK... |
| 功耗 | GD‑81D 约 1.5W(最大 4W);ETD 约 2.5‑6.5WRKI Instru... |
支持传感器 & 检测原理(可互换)理研計器株...
理研计器 RIKEN KEIKI GD‑81D 系列泵吸式固定式气体检测仪的参数
| 传感器型号 | 原理 | 典型检测对象 |
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| NCF/NCU | 接触燃烧式 | 可燃气体(甲烷、丙烷等) |
| SGF/SGU | 半导体式 | 有机溶剂蒸气 |
| SHF/SHU | 热线半导体 | 硅烷类、TEOS 等半导体特气 |
| ESF/ESU | 恒电位电解 | NH₃、HCl、Cl₂、HF 等有毒气体 |
| OSU | 隔膜原电池 | O₂氧气 |
| IRF/IRU | 红外 | CO₂、可燃气体 |
| SSU | 热粒子化 | 部分热分解类特殊气体,需选配 PLU‑80 热解器 |
可测:氨气、氯化氢、氯气、、硅烷、TEOS、磷化氢、氧气、二氧化碳、各类可燃溶剂蒸气等半导体常用工艺气体,支持 300 + 种传感器兼容老 GD‑70D 系列传感器RKI Instru...。
主要功能
1. 双组分检测(ETD+M 传感器)**:单台同时测两种气体,减少配管布线成本理研計器株...
2. 内置日志:报警历史、事件记录、零点 / 灵敏度校正记录可查看导出RKI Instru...
3. 自诊断:流量异常、传感器故障、硬件故障触发 FAULT 报警RIKEN KEIK...
4. 报警抑制、报警延时、零点跟随功能;支持外接热分解单元 PLU‑80 处理难直接检测气体理研計器株...
典型应用
- 半导体、面板厂工艺间、气瓶柜、排气管道,工艺气体泄漏监测
- 洁净厂房、化学品柜,有毒 / 可燃气体定点泵吸监测
⚠️注意:整机非防爆结构,只能安装在安全非爆炸区域;采样管路必须用 PTFE 耐腐管,避免吸附腐蚀气体。
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